德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200产品介绍:

MarForm MFU 200 Aspheric 3D 可在生产区域附近以 2D 和 3D 方式快速测试光学组件。MarForm 测量机器的精度和稳定性几十年来一直受到普遍认可。

Mahr开发了MarForm MFU 200非球面3D，使光学组件能够在生产区域附近的2D/3D中快速测试。几十年来，MarForm测量机因其精度和稳定性而得到认可。

T7W测量系统配有电动旋转轴。它允许探针臂逐渐进入所需的探测位置。可以从任何位置进行测量。MarWin软件提供了许多非球面、衍射光学（DOE）和自由曲面的评估选项。

借助MarForm MFU 200非球面3D，这种体验现在已经为光学行业提供。

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200最高精度:

MarForm MFU 200非球面3D测量站是参考形状测试仪MarForm MFU100的改进，是全球300多家客户使用的高精度形状测量机。对于光学行业的生产相关测量，已实施了重要创新：

配备减震器和水平控制的测量舱

通过X和Z测量轴上的参考标尺进行实时补偿。即使是测量过程中的最小偏差也会立即记录并正。

长期高温稳定性,使用Mahr精密旋转行程轴承，圆度偏差小于20 nm的高精度旋转轴。

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200光学和触觉测量:

可以使用MarForm MFU 200非球面3D进行表面的光学和触觉测量。干涉式点传感器（IPS）用于光学测量。多种探针臂可用于触觉测量。光学传感器和触觉传感器可以通过机动旋转接头以任何期望的角度（0°至360°）定位，从而提供高灵活性。几个光学和触觉探头也可以组合使用，用于测量系统T7W。

测量探头采用磁性固定，因此易于更换,优势一目了然.

•使用光学探头进行无接触测量

•抛光表面无损坏

•测量速度高

•粗糙表面上的触觉探针测量

•结合光学和触觉探针臂测定参考元件

•坐标系的调整

自动倾斜和定心

旋转轴的精确对准是精确和可重复测量非球面的前提条件。

MarForm MFU 200非球面3D具有自动倾斜和定心功能。使用校准设置，旋转轴的倾斜和对中可以精确对齐。为了精确测量非球面的三维形貌，了解光学系统的顶点是非常重要的。开始测量前，顶点由测量程序确定，轴重新对齐。因此，即使是夹持试样引起的最小误差也得到了补偿。

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200非球面测量

开始测量之前，必须将标称非球面参数输入评估软件aspheric.lib。在下一步中，记录测量数据并与标称非球面进行比较。半径R、RMS值、PV值和斜率误差显示为参数。根据DIN ISO 10110（A、B、C和RMSt、RMSi、RMSa）进行评估。

在测量和评估软件Aspheric.lib中，可以调整各个参数，例如曲率半径R、圆锥常数k和非球面系数Ai（BestFit）。记录的测量值和标称直径之间的差异地形显示为彩色编码线性图。然后可以以已知格式导出2D段和差分地形，以用于加工机器的校正,测量过程.

•标称参数设置（R、k、Ai）

•自动顶点搜索

•用圆形路径测量地形

•评价为三维差分地形和二维差分剖面

•根据DIN ISO 10110评估R、RMS、PV、斜率误差的特性

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机非球面形状、轮廓、粗糙度以及偏移和倾斜的测量

MarForm MFU 200非球面3D是一种高精度的参考形状测试仪。

可以执行各种光学和触觉形式测量任务。

MarForm MFU 200非球面3D不仅可以测量光学，

还可以在非光学表面上进行复杂的轮廓测量。

新的连续路径控制允许通过同时移动两个轴沿标称轮廓移动。

测量速度可达5 mm/s。

光学探针IPS 15允许测量表面上的粗糙度。

对于形状、轮廓和粗糙度测量的标准评估，

可使用全面且易于使用的评估软件MarWin。

光学圆柱形部分的触觉测量和轴偏移

（光学或机械轴的偏移）的自动计算是许多应用的一个例子。

衍射光学元件（DOE）广泛应用于图像处理、光电技术、医疗技术、多媒体和汽车工程等领域。

DOE的制造标准如此之高，以至于在工业应用中与高功率激光器一起使用。他们的主要工作是分束和成束。

Mahr的测量技术可用于测试和分析DOE的高标准。它可以测量单个区域，如形状偏差、区域高度和区域间距，并为机器校正提供轮廓输出。

•恒定区域宽度或恒定区域高度的分析

•基本形状（非球面、球面、平面）的分析和减影

•形状偏差（PV，RMS）的误差分析

•每个区域的详细分析

•带每个区域公差的输出参数：角度、区域高度、形状偏差、区域距离

•用于机器校正的轮廓导出

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机光学自由曲面、离轴非球面和环面的测量

高精度的3D测量站MarForm MFU 200非球面3D提供了测量光学自由曲面、离轴非球面和环面的运动学可能性。

测量

如果要测量未知地形的自由形式或地形，则有一种进一步的操作模式可用——自由跟踪。当传感器信号触及范围极限时，光学或触觉传感器跟随表面并跟踪测量轴。该测量以高速进行。因此，可以快速准确地记录未知地形。离轴非球面、环面和自由曲面可以测量和评估，始终使用适用于相应光学元件的程序。

因此，测量表面的三维点云可用。三维点云可用于计算非球面参数。对于自由形式的测量，可以用3D CAD模型覆盖该点云。标称实际比较的偏差显示在记录中。（3D CAD模型评估不属于标准交付范围。如果需要，必须单独订购）。

评价

如果三维标称数据可用，则可以将其与测量的地形进行比较。软件计算测量点与标称地形之间的偏差。使用该数据计算校正值。为了进行精确校正，标称数据和测量点的轴参考和角度位置必须相同。可以使用光学器件或夹紧装置的基准参考表面。自由曲面、离轴非球面和环面的测量结果生成为3D点云，可与3D软件一起用于进一步评估（例如目标/实际比较）。（用于评估的3D软件不包含在交付范围内。）

技术数据MARFORM MFU 200非球面3D