产品名称:

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200

产品型号:MarForm MFU 200 Aspheric 3D 产品货号 5440560
发布日期:2022-12-16
产品摘要:

MarForm MFU 200 Aspheric 3D 可在生产区域附近以 2D 和 3D 方式快速测试光学组件。MarForm 测量机器的精度和稳定性几十年来一直受到普遍认可。

商品详情
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德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200产品介绍:

MarForm MFU 200 Aspheric 3D 可在生产区域附近以 2D 和 3D 方式快速测试光学组件。MarForm 测量机器的精度和稳定性几十年来一直受到普遍认可。

Mahr开发了MarForm MFU 200非球面3D,使光学组件能够在生产区域附近的2D/3D中快速测试。几十年来,MarForm测量机因其精度和稳定性而得到认可。

T7W测量系统配有电动旋转轴。它允许探针臂逐渐进入所需的探测位置。可以从任何位置进行测量。MarWin软件提供了许多非球面、衍射光学(DOE)和自由曲面的评估选项。

借助MarForm MFU 200非球面3D,这种体验现在已经为光学行业提供。

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德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200最高精度:

MarForm MFU 200非球面3D测量站是参考形状测试仪MarForm MFU100的改进,是全球300多家客户使用的高精度形状测量机。对于光学行业的生产相关测量,已实施了重要创新:

配备减震器和水平控制的测量舱

通过X和Z测量轴上的参考标尺进行实时补偿。即使是测量过程中的最小偏差也会立即记录并正。

长期高温稳定性,使用Mahr精密旋转行程轴承,圆度偏差小于20 nm的高精度旋转轴。

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德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200光学和触觉测量:

可以使用MarForm MFU 200非球面3D进行表面的光学和触觉测量。干涉式点传感器(IPS)用于光学测量。多种探针臂可用于触觉测量。光学传感器和触觉传感器可以通过机动旋转接头以任何期望的角度(0°至360°)定位,从而提供高灵活性。几个光学和触觉探头也可以组合使用,用于测量系统T7W。

测量探头采用磁性固定,因此易于更换,优势一目了然.

•使用光学探头进行无接触测量

•抛光表面无损坏

•测量速度高

•粗糙表面上的触觉探针测量

•结合光学和触觉探针臂测定参考元件

•坐标系的调整

自动倾斜和定心

旋转轴的精确对准是精确和可重复测量非球面的前提条件。

MarForm MFU 200非球面3D具有自动倾斜和定心功能。使用校准设置,旋转轴的倾斜和对中可以精确对齐。为了精确测量非球面的三维形貌,了解光学系统的顶点是非常重要的。开始测量前,顶点由测量程序确定,轴重新对齐。因此,即使是夹持试样引起的最小误差也得到了补偿。

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机MFU200非球面测量

开始测量之前,必须将标称非球面参数输入评估软件aspheric.lib。在下一步中,记录测量数据并与标称非球面进行比较。半径R、RMS值、PV值和斜率误差显示为参数。根据DIN ISO 10110(A、B、C和RMSt、RMSi、RMSa)进行评估。

在测量和评估软件Aspheric.lib中,可以调整各个参数,例如曲率半径R、圆锥常数k和非球面系数Ai(BestFit)。记录的测量值和标称直径之间的差异地形显示为彩色编码线性图。然后可以以已知格式导出2D段和差分地形,以用于加工机器的校正,测量过程.

•标称参数设置(R、k、Ai)

•自动顶点搜索

•用圆形路径测量地形

•评价为三维差分地形和二维差分剖面

•根据DIN ISO 10110评估R、RMS、PV、斜率误差的特性

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机非球面形状、轮廓、粗糙度以及偏移和倾斜的测量

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MarForm MFU 200非球面3D是一种高精度的参考形状测试仪。

可以执行各种光学和触觉形式测量任务。

MarForm MFU 200非球面3D不仅可以测量光学,

还可以在非光学表面上进行复杂的轮廓测量。

新的连续路径控制允许通过同时移动两个轴沿标称轮廓移动。

测量速度可达5 mm/s。

光学探针IPS 15允许测量表面上的粗糙度。

对于形状、轮廓和粗糙度测量的标准评估,

可使用全面且易于使用的评估软件MarWin。

光学圆柱形部分的触觉测量和轴偏移

(光学或机械轴的偏移)的自动计算是许多应用的一个例子。



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衍射光学元件(DOE)广泛应用于图像处理、光电技术、医疗技术、多媒体和汽车工程等领域。

DOE的制造标准如此之高,以至于在工业应用中与高功率激光器一起使用。他们的主要工作是分束和成束。

Mahr的测量技术可用于测试和分析DOE的高标准。它可以测量单个区域,如形状偏差、区域高度和区域间距,并为机器校正提供轮廓输出。

•恒定区域宽度或恒定区域高度的分析

•基本形状(非球面、球面、平面)的分析和减影

•形状偏差(PV,RMS)的误差分析

•每个区域的详细分析

•带每个区域公差的输出参数:角度、区域高度、形状偏差、区域距离

•用于机器校正的轮廓导出

德国Mahr马尔非球面激光干涉仪小型形状测量机光学自由曲面、离轴非球面和环面的测量

高精度的3D测量站MarForm MFU 200非球面3D提供了测量光学自由曲面、离轴非球面和环面的运动学可能性。

测量

如果要测量未知地形的自由形式或地形,则有一种进一步的操作模式可用——自由跟踪。当传感器信号触及范围极限时,光学或触觉传感器跟随表面并跟踪测量轴。该测量以高速进行。因此,可以快速准确地记录未知地形。离轴非球面、环面和自由曲面可以测量和评估,始终使用适用于相应光学元件的程序。

因此,测量表面的三维点云可用。三维点云可用于计算非球面参数。对于自由形式的测量,可以用3D CAD模型覆盖该点云。标称实际比较的偏差显示在记录中。(3D CAD模型评估不属于标准交付范围。如果需要,必须单独订购)。

评价

如果三维标称数据可用,则可以将其与测量的地形进行比较。软件计算测量点与标称地形之间的偏差。使用该数据计算校正值。为了进行精确校正,标称数据和测量点的轴参考和角度位置必须相同。可以使用光学器件或夹紧装置的基准参考表面。自由曲面、离轴非球面和环面的测量结果生成为3D点云,可与3D软件一起用于进一步评估(例如目标/实际比较)。(用于评估的3D软件不包含在交付范围内。)

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技术数据MARFORM MFU 200非球面3D

水平测量轴(X轴)的特性

测量路径

180毫米

100mm的直线度偏差

0.15微米

跟踪长度(Lt)

0.1毫米至180毫米

定位速度

0.1 mm/s至50 mm/s

测量速度

0.1 mm/s至50 mm/s

垂直测量轴(Z轴)的特性

测量路径

320毫米

100mm的直线度偏差

0.1µm

跟踪长度(Lt)

0.1毫米至320毫米

定位速度

0.1 mm/s至50 mm/s

测量速度

0.1 mm/s至50 mm/s

作为测量函数的Z轴路径控制(Z+/Z-)/作为测量函数(X+/X-)的X轴路径控制

决议

1纳米

定位不确定性

1µm(带探头回路)

速度

可自由调节至10 mm/s

水平测量轴(Y轴)的特性

测量路径

6毫米

定位不确定性

0.5µm/5毫米

圆形测量轴(C轴)的特性

圆度偏差

0.02+0.0004µm/mm测量高度

轴向跳动

0.04+0.002µm/mm测量半径

每分钟转数

0.1至200分钟-1

决议

0.0001°

自动定心和倾斜工作台的特性

工作台直径

180毫米

工作台负载,中心

200牛

行程路径(X-;Y-;A-;B-轴)

±1.8毫米

定位不确定性

1.0微米

探头系统的特性(测量方向Z+/Z-)

探头测量范围

±0.5 mm(60 mm探针臂)

决议

0.6纳米

探针臂旋转范围(Hb)

360°

功能3D测量站


测量时间

5至10分钟。

C轴

测量和定位速度<360°/s/旋转速度高达1200°/s




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